DFA40_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人
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- 商品名称: DFA40_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气片盒系列
- 负载: 10-20KG
- 臂长: 200-499mm
DFA40_2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。
2轴大气圆柱坐标单臂晶圆片盒搬运机器人DFA40_DFA系列半导体机器人- ●采用闭环伺服控制
- ●可选配免电池绝对式编码器
- ●可根据设备布局定制臂长
臂长
400mm
额定/最大负载
12kg
搬运物
4~12寸晶圆片盒

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关键词:
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