FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
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- 商品名称: FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
- 产品: 半导体机器人
- 应用: 大气晶圆系列
- 负载: 2-5KG
- 臂长: 200-499mm
FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。
单轴大气晶圆片盒搬运机器人FA4230_FA系列半导体机器人- ●采用闭环伺服控制
- ●可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
- ●可选配免电池绝对式编码器
- ●可选mapping传感器类型:对射式、反射式
- ●可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式
臂长
420mm
额定/最大负载
4kg
搬运物
≤Φ300mm晶圆

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关键词:
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